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小型等离子清洗机使用时注意事项

发布时间: 2013-08-29  点击次数: 2329次

使用时注意事项:

1.    仪器的功率参数设定不要超过60(即仪器额定功率的60%

2.    样品处理时间不要过长(不要超过10分钟)如果感觉处理的效果不是很理想可以停机后,过5分钟(待仪器的热量散掉后)在进行一次处理。

3.    在日常的使用过程中一定要做到打开电源后,先进行回气操作使仓体恢复常压(按下Air/Vent按钮,并在35秒后复原Air/Vent按钮)后再开始实验。目的是防止真空泵油逆流。

4.    实验中处理的样品不要与仪器的舱内高压板接触

5.    对于本机而言一般材料的处理,所供气体量在200-400ml/min之间等离子密度较为适宜

6.    平常要保持仪器的清洁,特别要注意舱门密封处。

7.    仪器不要放于特殊环境中使用,例如:高温   高湿等恶劣环境。

外加气体使用注意

1.外加气体(氧气)由机箱的后边 GAS1引入,现接口直径为10毫米,也可配成直径6毫米的接头。

2.将氧气的出口压力调到0.2MPa,可长期接入,也可用完后关闭氧气瓶。

3.外加氧气时一定要注意:在正常使用前一定要在手动状态下,先不按下GAS按钮时给射频,观看舱体的.发光颜色,发白时为宜,此时再按下GAS按钮,并调整流量计旋钮,使流量在300--400毫升之间,此时的氧离子的发光颜色为灰色且有些雾蒙蒙的感觉,即为正常。

4.在舱体加射频时出现打火的情况下(即真空度不够的情况下),千万不要加入氧气,有可能引燃氧气而将射频线烧毁

 

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