plasma处理系统SAT-5D；采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的控制和监测。

Plasma等离子清洗机；应用领域：等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域

高频中型Plasma 处理仪SAOT-12D;应用领域：等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域

紫外臭氧清洗机（UVO）应用案例包括:表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等。

YZD08-2C等离子清洗器广泛应用于科学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生命医学、微观流体学等领域。