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紫外臭氧清洗机(UVO)

紫外臭氧清洗机(UVO)

简要描述:紫外臭氧清洗机(UVO)应用案例包括:表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等。

产品型号: E511

所属分类:紫外臭氧清洗机

更新时间:2022-05-12

厂商性质:经销商

详情介绍

紫外臭氧清洗机(UVO)工作条件:

工作环境温度:5-35℃。

工作环境湿度:≤70%。

电源:220/240V、50/60HZ。

应用案例包括:

表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等。

适用样品类型:石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、镍铝、砷化镓、氧化铝、玻璃、不锈钢等。

仪器基本配置:主机+电源线+说明书。

紫外臭氧清洗机(UVO)技术参数:

UV灯类型

人造石英紫外格栅灯

UV灯主要波长

185 nm 和 254 nm

UV灯规格

100 mm x 100 mm

UV灯电流

30 mA (恒定)

254 nm 输出强度

100厘米距离的光强度为20 µW/cm2

UV 灯使用寿命

T80 (2000小时); 8-10年标准日常使用时间

电源

电源220-240 VAC 保险丝:1A

选配的AC/AC 变压器

110 V / 230V

大运行时间

59 分钟59秒

安全特征

安全互锁装置, 高温报警, 热熔断路

托盘尺寸

100 mm x 100 mm

大样品尺寸

100 mm x 100 mm

大处理样品高度

14mm

外形尺寸

宽:204 mm   高:227 mm    长:300 mm




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