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plasma处理系统

plasma处理系统

简要描述:plasma处理系统SAT-5D;采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的控制和监测。

产品型号: SAT-5D

所属分类:plasma处理系统

更新时间:2024-03-19

厂商性质:经销商

详情介绍

技术特点:

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。

2.plasma处理系统SAT-5D实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配,稳定可靠,具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。

9.plasma处理系统SAT-5D采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的控制和监测。

10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式,操作直观简单稳定可靠。

技术规格参数:

型号:SAT-5D


不锈钢/石英舱体

Φ150 mm×L255mm

可以选配石英转鼓用来处理微颗粒以及粉末

工作气路

两路,可以选配MFC控制

射频频率

13.56MHz

射频功率

0-150W,可调,扫频自动匹配

控制系统

液晶屏+薄膜数字按键,实时显示和检测舱内真空度值

时间范围

0—99分59秒连续可调

工作压力

样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节

工作气体

空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可

进气压力

空气:常压 连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa

工作模式

手动模式和程序化自动模式

真空泵

抽速:1升到5升每秒

输入电源

~220V/50Hz

整机尺寸(D*W*H)

552X590X295mm

重量(约)

28Kg




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